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國內某大型多晶硅企業的電加熱器的故障統計因為電加熱管絕緣性低故障一般在設備調試時被發現，電加熱器共投用108臺，投用至今共發生故障45次，其中電加熱管燒壞故障率最高，占總故障的64%，主要原因是原料四氯化硅含粉塵多，其次是因為早期的工藝中二氯二氫硅未進行反歧化處理，就直接加入到氫化四氯化硅原料儲罐內，然后和四氯化硅、氫氣一起進入混合氣電加熱器加熱，二氯二氫硅高溫下分解產生無定形硅附著在加熱管上，電阻絲產生的熱無法及時散出而導致局部溫度過高，使加熱管燒斷。
套管泄漏故障率也較高，占總故障的27%，其原因主要是多晶硅工廠的大氣環境常含有氯離子，電加熱器正常工作時套管溫度高，水分無法在表面停留，不容易被腐蝕，但是冷氫化系統需要定期停車排渣，導致套管在常溫下易被大氣中的氯離子腐蝕。
電加熱管與管板焊接問題屬于設備質量問題，占總故障的9%。
電加熱器投用第2年的平均故障次數比第1年有所上升，但是投用第2年故障全部為電加熱管燒壞故障，與生產工況關系較大，投用第3年基本上無故障發生，這說明在工況較好(加熱介質無二氯二氫硅且物料干凈)的條件下，無質量問題的電加熱器的使用壽命能達到較長時間。