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在國內(nèi)某大型多晶硅企業(yè)的生產(chǎn)過程中，電加熱器主要用于氫氣、導(dǎo)熱油、氯硅烷氣體的加熱。
多晶硅生產(chǎn)過程中，電加熱器主要用于氣體(包括氫氣、氮氣、氯化氫、氯硅烷氣體等)、工藝液體(氯硅烷液體)及輔助介質(zhì)(如導(dǎo)熱油)的加熱。
直接式電加熱器常見故障及分析有以下幾點故障原因：
多晶硅用電加熱器出現(xiàn)故障的原因主要有兩方面，一方面是設(shè)備本體質(zhì)量問題，另一方面與運行工藝有關(guān)。
常見故障為電加熱管與管板焊接問題、套管本體質(zhì)量問題導(dǎo)致泄漏、電加熱管燒壞、加熱管絕緣性低。
電加熱器的故障原因：
A.板焊接故障。
1．打壓檢漏時焊縫漏氣;2．防爆接線盒泄漏物料。
設(shè)備質(zhì)量問題，焊接質(zhì)量差。
B.套管裂紋。
1．套管表面出現(xiàn)水解物;2．套管表面著火。
生產(chǎn)環(huán)境含腐蝕性氣體，套管被腐蝕。
C.電加熱管燒壞。
1．DCS電加熱管短路;2．高溫報警;3．設(shè)備跳停;4．接線盒處物料泄漏。
1．二氯二氫硅高溫下分解產(chǎn)生無定形硅附著在加熱管上，電阻絲產(chǎn)生的熱無法及時散出而導(dǎo)致局部溫度過高，加熱管燒斷。
2．工藝氣體中含粉塵較多時，導(dǎo)致電加熱芯表面因粉塵附著熱量散發(fā)不出去而燒壞。
3．電加熱管本身質(zhì)量問題。
D.電加熱管絕緣性低電工檢測接地電阻低。
1．設(shè)備質(zhì)量問題。
2．電加熱管內(nèi)氧化鎂粉干燥度不夠。